精密测量技术是工业发展的基础和先决条件，这已被生产发展的历史所确认。从成产发展的历史来看，机械加工精度的提高总是与测量技术的发展水平密切相关的。因此，有人认为，材料、精密加工、精密测量与控制是现代精密工程（包括宇航）的三大支柱。对于科学技术来说，测量与控制是使其发展的促进因素，测量的精度和效率在一定程度上决定着科学技术的水平。

一、概述

随着科学技术发展与制造业的发展，对微小尺寸的测量要求越来越迫切。从机械工业、电子工业到生物工程以及环境保护等；从尖端科学的热核反应到日常生活中的化学纤维，都有微小尺寸测量的问题。如：制导系统的毫米级大小的轴承；机械加工中的小孔、细丝、小球面；光学加工中的镀层厚度；计算机中磁头——磁盘间的微小间隙等等，尽管微小尺寸测量的对象各种各样，测量方法不尽相同，但它们共同的特点是：测量范围小，分辨力及精度要求高，自动化程度高，难度很大。面对这样的课题，迫切需要一些新的测量原理方法。

二、发展趋势

1、新的物理、新材料及新技术的应用。如电子显微镜，超声显微镜，光电技术，激光干涉技术，电视图像分析技术，新材料及相应的涂覆工艺等；

2、利用电子计算机技术和数据处理的方法，检验和控制处理过程。如圆度仪、三坐标测量机等；

3、利用图像测量与识别技术测量复杂或微小零件。如高精度大规模集成电路线宽的精密测量，航空、航天领域所需的陶瓷类微小元件的精密测量等；

4、在线测量用坐标测量机的开发与应用。如FMS线上与加工中心组成一体的坐标测量机。它主要用于判别工件的合格性，以掌握线内各机床的工作状态，指导机床调整等工作；

5、纳米测量技术的开发与应用。如精度长度、角度、定位以及表面微细形状与表面粗糙度的测量；

6、新的测量原理的研究与应用。新的测量方法的研究是几何量精密测量仪发展的排头兵，其最为关键，难度也最大。它综合了物理、物性、电子、电磁、材料、机械等多学科的内容，诸如CCD、SMT等都属于创新之列；

7、各种技术的综合应用。这些技术包括微电子技术、控制技术、数字技术、计算机技术、光电技术、新材料和精密机械等。这种综合或集成的发展趋势，必将促使各种技术的紧密结合与综合应用，推动几何量精密测量仪向更高的层次发展。排除污染品。